光纖光柵加速度傳感器技術(shù)研究
點擊次數(shù):9760 更新日期:2011-03-24
目前,光纖光柵加速度傳感器多采用“塊簧式”結(jié)構(gòu),即將光纖光柵通過某種方式(如某種結(jié)構(gòu)的彈性元件)與一個質(zhì)量塊連接在一起。質(zhì)量塊受外界振動產(chǎn)生的慣性力作用在光纖光柵上,使光纖光柵產(chǎn)生伸長或壓縮,從而導致中心反射波長(或其它參數(shù),如反射光強)的變化,通過檢測波長(或其它參數(shù))的漂移量實現(xiàn)加速度的測量。典型的FBG加速度傳感器結(jié)構(gòu)這里,a為待測加速度。從以上分析可以看出,傳感器的固有頻率和靈敏度之間是互相制約的,減小光纖長度或質(zhì)量塊質(zhì)量能夠提高固有頻率,從而增大傳感器的頻率響應范圍,但同時靈敏度也隨之降低。所以,光纖光柵加速度計的結(jié)構(gòu)參數(shù)決定了傳感器的各項性能指標,如頻率響應范圍、zui大檢測值、傳感器的靈敏度等等。根據(jù)實際需要合理設(shè)計傳感結(jié)構(gòu),選擇合適的結(jié)構(gòu)參數(shù)及質(zhì)量塊質(zhì)量,可優(yōu)化傳感器的性能。
光纖光柵加速度傳感的方法
由于裸光纖光柵的機械性能差,無法實用,經(jīng)過適當封裝不僅可以保護光柵,還能達到增敏的目的。近年來,研究者們提出了多種基于不同封裝的光纖光柵加速度計:
彈性順變體結(jié)構(gòu)該結(jié)構(gòu)由美國的Berkoff和Kersey提出[2],如圖2所示。將光纖光柵埋置在纖閃石彈性材料中,形成厚約8mm的矩形順變體結(jié)構(gòu),用兩個尺寸相同的鋁板充當質(zhì)量塊和基底,固定在順變體的上下表面。順變體受質(zhì)量塊慣性力的作用發(fā)生彈性形變,作用在光纖光柵上,引起光纖光柵反射波長的漂移。實驗結(jié)果表明,該方法具有較寬的工作頻帶,10~2KHz的平坦響應區(qū)間,探測精度為1mg/√Hz。但此結(jié)構(gòu)沒有解決交叉串擾問題,且振動過程中光柵容易產(chǎn)生橫向應變,導致光纖的雙折射,使光纖光柵反射譜發(fā)生分裂,影響測量精度。
性梁結(jié)構(gòu)1998年,Tod等人[3]提出了基于彈性梁的光纖光柵加速度傳感器。彈性元件由兩個互相平行的彈性梁組成,梁的兩端分別固定在鋁框上,如圖3所示。將質(zhì)量塊制成六邊形,點焊在雙梁之間。光纖光柵粘貼在下梁底面的中間位置,以便產(chǎn)生zui大位移,獲得zui大的靈敏度。
此結(jié)構(gòu)的共振頻率可達1kHz,靈敏度為212.5me/g,且抗橫向干擾能力強,交叉去敏度<1%。
但光纖光柵所受應變是非均勻的,容易導致光柵啁啾,影響測量的分辨率。
為了解決光纖光柵軸向應變不均的問題,提出了基于L型懸臂梁的光纖光柵加速度計[4,5],如圖4所示。L形剛性懸臂梁一端與質(zhì)量塊相連,另一端通過片簧與外部鋼架相連。將光纖光柵一端固定在梁上(圖中A點),另一端固定在鋼架上(圖中B點),片簧用來降低交叉串擾的影響。質(zhì)量塊在外界振動的作用下產(chǎn)生的慣性力,經(jīng)L形梁利用杠桿原理放大后傳遞給光纖光柵,使其產(chǎn)生軸向應變,從而引起光纖光柵反射波長的漂移。此方法將光纖光柵兩端直接固定在鋼架上,避免了柵區(qū)膠粘引起的不均勻,且光纖光柵僅受軸向應變,不會出現(xiàn)啁啾現(xiàn)象,有利于提高傳感器的分辨率,可用于高靈敏度、低頻測量領(lǐng)域。
2003年,ZhuY.N.等人[6]提出了不等強度懸臂梁結(jié)構(gòu),主要利用不等強度梁對光纖光柵的啁啾效應。如圖5所示,將光纖光柵粘在末端帶有一個質(zhì)量塊的不等強度懸臂梁上(如矩形懸臂梁),外界振動引起梁彎曲,由于沿梁長度方向的不同位置應變不同,導致光纖光柵的啁啾化,使其反射譜展寬,zui終使反射光強發(fā)生變化,通過檢測啁啾反射譜光強的大小,實現(xiàn)測量加速度的目的。由于溫度變化僅能導致反射波長的漂移,對啁啾反射光強影響不大,因此可實現(xiàn)溫度補償,在-20~40℃范圍內(nèi),輸出信號浮動小于5%。實驗測得線性輸出范圍達8g,動態(tài)范圍26dB。此方法不用額外的裝置實現(xiàn)了溫度補償,由于解調(diào)系統(tǒng)簡單、便宜,降低了檢測成本。但傳感器的動態(tài)探測范圍受反射光強和加速度之間線性關(guān)系的影響,也容易受到光源強度波動的影響,測量精度不高。
1999年,YuYoulong等人[7]提出了等強度懸臂梁無啁啾調(diào)諧方式,通過梁的彎曲實現(xiàn)了光纖光柵反射波長的線性調(diào)諧。2003年,ShiC.Z.等人[8]將此方法應用在加速度測量上,如圖6所示。將光纖光柵粘在三角形懸臂梁的中心線上,梁的底邊固定在基座上,頂點處固定質(zhì)量塊。由于加速度作用下光纖光柵所受應變始終是均勻的,測量精度較高,為0.28mg/√Hz,且傳感探頭僅受單方向加速度的影響,交叉串擾低。但結(jié)構(gòu)的固有頻率較低,適用于低頻測量。
雙光纖光柵結(jié)構(gòu)此結(jié)構(gòu)利用兩個光纖光柵反射波長差與反射光功率之間在某一區(qū)域的線性關(guān)系,將加速度導致的波長變化轉(zhuǎn)換為光強變化,通過探測光強大小實現(xiàn)振動的測量。這種結(jié)構(gòu)具備兩個優(yōu)點:1)由于兩個光纖光柵處于同一溫度環(huán)境下,溫度引起的波長漂移可以互相抵消,實現(xiàn)了溫度補償;2)兩個光纖光柵均參與結(jié)構(gòu)中,當一個光柵被壓縮時,另一個被拉伸,使得探測的波長變化量與單光柵相比增加了一倍,靈敏度也提高了一倍。
2000年,KrammerPeter等人[9]提出了如圖7所示的結(jié)構(gòu)。它由兩個反射光譜部分交疊的光纖光柵組成,兩光柵之間由質(zhì)量塊連接。寬帶光源發(fā)出的光波,依次被FBG1、FBG2反射后進入探測器。質(zhì)量塊的位移使光纖光柵反射波長沿不同方向漂移,引起光纖光柵反射譜交疊區(qū)域的增大和減少,從而導致反射光能量的減少和增加。
加速度計模型。三對光纖光柵作為彈性元件,分別從垂直交叉于質(zhì)量塊中心的三個孔中穿出并對稱地固定于孔內(nèi),如圖8所示,每對光纖光柵串聯(lián)在一根光纖上,每根光纖的兩端由外部鋼架固定。文中僅對垂直方向振動進行了實驗,結(jié)果顯示了輸出信號與加速度之間良好的線性關(guān)系,證實了溫度補償?shù)挠行裕?0~750Hz的平坦響應區(qū)間。
2003年,余有龍等人[11]提出了雙光纖光柵有源振動檢測裝置,如圖9所示。將雙光纖光柵對稱粘貼在等強度懸臂梁的上下表面,并將其作為環(huán)形腔光纖激光器端鏡。當振動信號作用在梁的自由端時,通過觀察激光輸出脈沖及雙光柵波長漂移量差值的變化,實現(xiàn)振動頻率及幅值的檢測。實驗表明,振幅測量范圍在0-6.1mm,低于100Hz條件下,實驗結(jié)果與實際值基本吻合。
2006年,TengLi等人[12]設(shè)計了主梁與微梁相結(jié)合的差動式結(jié)構(gòu),如圖10所示。主懸臂梁兩邊對稱地放置兩個微梁,主梁和微梁連著同一個質(zhì)量塊,雙光纖光柵分別粘在兩個微梁上。當質(zhì)量塊受加速度作用時,其中一個微梁被拉伸、另一個被壓縮。采用高彈性剛度的主梁支撐質(zhì)量塊,低彈性剛度的微梁感受力的作用,實現(xiàn)了不降低靈敏度的同時顯著地提高系統(tǒng)的固有頻率。理論分析表明,該結(jié)構(gòu)的靈敏度可以達到53.1pm/g,諧振頻率為250Hz,是同等靈敏度普通懸臂梁結(jié)構(gòu)的3倍。結(jié)構(gòu)中將傳感器靈敏度和諧振頻率分開考慮,增加了設(shè)計的靈活性。
2008年,WuZhaoxia等人[13]提出了如圖11所示的結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)由質(zhì)量塊(M)、四個條形彈簧片(B)和兩個內(nèi)置光纖光柵的波導橋(C)組成。四個彈簧片起到支撐質(zhì)量塊和約束振動方向的作用,波導橋由低折射率、可拉伸和壓縮的硅材料制成。質(zhì)量塊受振動產(chǎn)生的慣性力作用在波導橋上,使其內(nèi)置的兩個光纖光柵反射波長產(chǎn)生互為相反的漂移。實驗測得響應頻率為1kHz,加速度測量范圍4.3m/s2~340m/s2,分辨率達到7.5×10-7nm/√Hz。
2009年,張東生等人[14]提出了鋼管式封裝結(jié)構(gòu)。如圖12所示,將光纖光柵1、2串聯(lián)后封裝在細鋼管內(nèi),質(zhì)量塊穿過鋼管固定在兩個光纖光柵中間,鋼管的兩端固定在底座和端蓋上。此結(jié)構(gòu)的工作原理同上述結(jié)構(gòu)類似,但采用鋼管式封裝使傳感器的諧振頻率大大提高,可達3kHz以上,線性測量范圍0.1~4g,靈敏度669mV/g。但文中沒有提到交叉串擾對傳感器的影響。
除上述結(jié)構(gòu)外,2007年,GregoryH.A.等人[15]提出了基于摻鉺光纖激光器的新型結(jié)構(gòu)。
光纖光柵加速度傳感的方法
由于裸光纖光柵的機械性能差,無法實用,經(jīng)過適當封裝不僅可以保護光柵,還能達到增敏的目的。近年來,研究者們提出了多種基于不同封裝的光纖光柵加速度計:
彈性順變體結(jié)構(gòu)該結(jié)構(gòu)由美國的Berkoff和Kersey提出[2],如圖2所示。將光纖光柵埋置在纖閃石彈性材料中,形成厚約8mm的矩形順變體結(jié)構(gòu),用兩個尺寸相同的鋁板充當質(zhì)量塊和基底,固定在順變體的上下表面。順變體受質(zhì)量塊慣性力的作用發(fā)生彈性形變,作用在光纖光柵上,引起光纖光柵反射波長的漂移。實驗結(jié)果表明,該方法具有較寬的工作頻帶,10~2KHz的平坦響應區(qū)間,探測精度為1mg/√Hz。但此結(jié)構(gòu)沒有解決交叉串擾問題,且振動過程中光柵容易產(chǎn)生橫向應變,導致光纖的雙折射,使光纖光柵反射譜發(fā)生分裂,影響測量精度。
性梁結(jié)構(gòu)1998年,Tod等人[3]提出了基于彈性梁的光纖光柵加速度傳感器。彈性元件由兩個互相平行的彈性梁組成,梁的兩端分別固定在鋁框上,如圖3所示。將質(zhì)量塊制成六邊形,點焊在雙梁之間。光纖光柵粘貼在下梁底面的中間位置,以便產(chǎn)生zui大位移,獲得zui大的靈敏度。
此結(jié)構(gòu)的共振頻率可達1kHz,靈敏度為212.5me/g,且抗橫向干擾能力強,交叉去敏度<1%。
但光纖光柵所受應變是非均勻的,容易導致光柵啁啾,影響測量的分辨率。
為了解決光纖光柵軸向應變不均的問題,提出了基于L型懸臂梁的光纖光柵加速度計[4,5],如圖4所示。L形剛性懸臂梁一端與質(zhì)量塊相連,另一端通過片簧與外部鋼架相連。將光纖光柵一端固定在梁上(圖中A點),另一端固定在鋼架上(圖中B點),片簧用來降低交叉串擾的影響。質(zhì)量塊在外界振動的作用下產(chǎn)生的慣性力,經(jīng)L形梁利用杠桿原理放大后傳遞給光纖光柵,使其產(chǎn)生軸向應變,從而引起光纖光柵反射波長的漂移。此方法將光纖光柵兩端直接固定在鋼架上,避免了柵區(qū)膠粘引起的不均勻,且光纖光柵僅受軸向應變,不會出現(xiàn)啁啾現(xiàn)象,有利于提高傳感器的分辨率,可用于高靈敏度、低頻測量領(lǐng)域。
2003年,ZhuY.N.等人[6]提出了不等強度懸臂梁結(jié)構(gòu),主要利用不等強度梁對光纖光柵的啁啾效應。如圖5所示,將光纖光柵粘在末端帶有一個質(zhì)量塊的不等強度懸臂梁上(如矩形懸臂梁),外界振動引起梁彎曲,由于沿梁長度方向的不同位置應變不同,導致光纖光柵的啁啾化,使其反射譜展寬,zui終使反射光強發(fā)生變化,通過檢測啁啾反射譜光強的大小,實現(xiàn)測量加速度的目的。由于溫度變化僅能導致反射波長的漂移,對啁啾反射光強影響不大,因此可實現(xiàn)溫度補償,在-20~40℃范圍內(nèi),輸出信號浮動小于5%。實驗測得線性輸出范圍達8g,動態(tài)范圍26dB。此方法不用額外的裝置實現(xiàn)了溫度補償,由于解調(diào)系統(tǒng)簡單、便宜,降低了檢測成本。但傳感器的動態(tài)探測范圍受反射光強和加速度之間線性關(guān)系的影響,也容易受到光源強度波動的影響,測量精度不高。
1999年,YuYoulong等人[7]提出了等強度懸臂梁無啁啾調(diào)諧方式,通過梁的彎曲實現(xiàn)了光纖光柵反射波長的線性調(diào)諧。2003年,ShiC.Z.等人[8]將此方法應用在加速度測量上,如圖6所示。將光纖光柵粘在三角形懸臂梁的中心線上,梁的底邊固定在基座上,頂點處固定質(zhì)量塊。由于加速度作用下光纖光柵所受應變始終是均勻的,測量精度較高,為0.28mg/√Hz,且傳感探頭僅受單方向加速度的影響,交叉串擾低。但結(jié)構(gòu)的固有頻率較低,適用于低頻測量。
雙光纖光柵結(jié)構(gòu)此結(jié)構(gòu)利用兩個光纖光柵反射波長差與反射光功率之間在某一區(qū)域的線性關(guān)系,將加速度導致的波長變化轉(zhuǎn)換為光強變化,通過探測光強大小實現(xiàn)振動的測量。這種結(jié)構(gòu)具備兩個優(yōu)點:1)由于兩個光纖光柵處于同一溫度環(huán)境下,溫度引起的波長漂移可以互相抵消,實現(xiàn)了溫度補償;2)兩個光纖光柵均參與結(jié)構(gòu)中,當一個光柵被壓縮時,另一個被拉伸,使得探測的波長變化量與單光柵相比增加了一倍,靈敏度也提高了一倍。
2000年,KrammerPeter等人[9]提出了如圖7所示的結(jié)構(gòu)。它由兩個反射光譜部分交疊的光纖光柵組成,兩光柵之間由質(zhì)量塊連接。寬帶光源發(fā)出的光波,依次被FBG1、FBG2反射后進入探測器。質(zhì)量塊的位移使光纖光柵反射波長沿不同方向漂移,引起光纖光柵反射譜交疊區(qū)域的增大和減少,從而導致反射光能量的減少和增加。
加速度計模型。三對光纖光柵作為彈性元件,分別從垂直交叉于質(zhì)量塊中心的三個孔中穿出并對稱地固定于孔內(nèi),如圖8所示,每對光纖光柵串聯(lián)在一根光纖上,每根光纖的兩端由外部鋼架固定。文中僅對垂直方向振動進行了實驗,結(jié)果顯示了輸出信號與加速度之間良好的線性關(guān)系,證實了溫度補償?shù)挠行裕?0~750Hz的平坦響應區(qū)間。
2003年,余有龍等人[11]提出了雙光纖光柵有源振動檢測裝置,如圖9所示。將雙光纖光柵對稱粘貼在等強度懸臂梁的上下表面,并將其作為環(huán)形腔光纖激光器端鏡。當振動信號作用在梁的自由端時,通過觀察激光輸出脈沖及雙光柵波長漂移量差值的變化,實現(xiàn)振動頻率及幅值的檢測。實驗表明,振幅測量范圍在0-6.1mm,低于100Hz條件下,實驗結(jié)果與實際值基本吻合。
2006年,TengLi等人[12]設(shè)計了主梁與微梁相結(jié)合的差動式結(jié)構(gòu),如圖10所示。主懸臂梁兩邊對稱地放置兩個微梁,主梁和微梁連著同一個質(zhì)量塊,雙光纖光柵分別粘在兩個微梁上。當質(zhì)量塊受加速度作用時,其中一個微梁被拉伸、另一個被壓縮。采用高彈性剛度的主梁支撐質(zhì)量塊,低彈性剛度的微梁感受力的作用,實現(xiàn)了不降低靈敏度的同時顯著地提高系統(tǒng)的固有頻率。理論分析表明,該結(jié)構(gòu)的靈敏度可以達到53.1pm/g,諧振頻率為250Hz,是同等靈敏度普通懸臂梁結(jié)構(gòu)的3倍。結(jié)構(gòu)中將傳感器靈敏度和諧振頻率分開考慮,增加了設(shè)計的靈活性。
2008年,WuZhaoxia等人[13]提出了如圖11所示的結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)由質(zhì)量塊(M)、四個條形彈簧片(B)和兩個內(nèi)置光纖光柵的波導橋(C)組成。四個彈簧片起到支撐質(zhì)量塊和約束振動方向的作用,波導橋由低折射率、可拉伸和壓縮的硅材料制成。質(zhì)量塊受振動產(chǎn)生的慣性力作用在波導橋上,使其內(nèi)置的兩個光纖光柵反射波長產(chǎn)生互為相反的漂移。實驗測得響應頻率為1kHz,加速度測量范圍4.3m/s2~340m/s2,分辨率達到7.5×10-7nm/√Hz。
2009年,張東生等人[14]提出了鋼管式封裝結(jié)構(gòu)。如圖12所示,將光纖光柵1、2串聯(lián)后封裝在細鋼管內(nèi),質(zhì)量塊穿過鋼管固定在兩個光纖光柵中間,鋼管的兩端固定在底座和端蓋上。此結(jié)構(gòu)的工作原理同上述結(jié)構(gòu)類似,但采用鋼管式封裝使傳感器的諧振頻率大大提高,可達3kHz以上,線性測量范圍0.1~4g,靈敏度669mV/g。但文中沒有提到交叉串擾對傳感器的影響。
除上述結(jié)構(gòu)外,2007年,GregoryH.A.等人[15]提出了基于摻鉺光纖激光器的新型結(jié)構(gòu)。